掃描電鏡中的樣品表面充電問題及其解決方法
日期：2023-07-25
在掃描電子顯微鏡（SEM）中，樣品表面充電是一個(gè)常見的問題。當(dāng)樣品處于高真空環(huán)境下，并且受到來自電子束的照射時(shí)，可能會(huì)發(fā)生表面電子的發(fā)射和重新組合，導(dǎo)致樣品表面帶電。這會(huì)導(dǎo)致圖像失真、信號(hào)衰減以及可能損害樣品。以下是一些常見的解決方法：
導(dǎo)電涂層：在SEM觀察之前，對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行導(dǎo)電涂層處理是一種常見的方法。通過在樣品表面涂覆一層導(dǎo)電性材料，如金屬（例如金或鉑）、碳等，可以有效地消除表面充電問題。這種導(dǎo)電涂層可以吸收或傳導(dǎo)表面電子，防止樣品表面帶電。
低電流模式：減小電子束的能量和電流，特別是在初期尋找焦點(diǎn)和條件時(shí)，可以減少表面充電。逐漸增加電流，直到獲得足夠的信號(hào)強(qiáng)度為止。
使用低加速電壓：降低電子束的加速電壓也有助于減少樣品表面充電。較低的加速電壓會(huì)減少電子束的穿透深度，從而減少與樣品相互作用的電子數(shù)量，減輕表面充電問題。
脈沖模式：一些SEM設(shè)備支持脈沖模式，其中電子束在照射樣品之間會(huì)暫時(shí)關(guān)閉。這有助于減少表面電子的累積和樣品表面的充電。
氣體環(huán)境：在觀察某些樣品時(shí)，可以考慮使用環(huán)境SEM或氣體環(huán)境SEM。這些方法允許在樣品表面形成一個(gè)較輕的氣氛，有助于減少表面充電現(xiàn)象。
調(diào)整儀器參數(shù)：通過調(diào)整SEM的工作參數(shù)，如電子束的掃描速度、電子束的偏轉(zhuǎn)和對(duì)焦等，可以優(yōu)化圖像質(zhì)量和減少表面充電問題。
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作者：澤攸科技