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    掃描電鏡中的電子束照射對樣本有哪些可能的損傷?

    日期:2023-07-19

    在掃描電子顯微鏡中,電子束照射對樣本可能造成多種損傷,特別是在高能量電子束下。以下是一些可能的樣本損傷:

    表面電荷積累: 高能量電子束照射樣本表面時,可能會導(dǎo)致電子從樣本表面被排斥出去,造成表面電荷積累。這些表面電荷可能會影響樣本表面形態(tài),導(dǎo)致圖像失真。

    樣本脫水和收縮: 電子束照射會引起樣本內(nèi)部水分的蒸發(fā)和去除,導(dǎo)致樣本脫水和收縮。這可能會改變樣本的形狀和尺寸,導(dǎo)致失真。

    電子束傷害: 高能量電子束照射可能會對樣本結(jié)構(gòu)造成直接傷害,特別是對于柔軟和有機(jī)樣本。電子束照射會使樣本中的分子和原子發(fā)生斷裂,導(dǎo)致樣本結(jié)構(gòu)的破壞。

    電子輻照損傷: 高能量電子束照射樣本時,電子輻射可能會對樣本中的分子和原子產(chǎn)生一系列的物理和化學(xué)效應(yīng),導(dǎo)致樣本的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)發(fā)生改變。

    熱效應(yīng): 電子束照射樣本時,會引起樣本局部區(qū)域的升溫。高溫可能會導(dǎo)致樣本的熱膨脹和變形。

    光化學(xué)反應(yīng): 高能量電子束可以激發(fā)樣本中的化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致樣本的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化。

    氣體解吸: 在SEM的真空環(huán)境下,電子束照射樣本可能會引起樣本內(nèi)氣體的解吸,導(dǎo)致氣泡形成,影響圖像質(zhì)量。

    因此,在使用SEM觀察樣本時,需要仔細(xì)選擇合適的電子束參數(shù)和采用適當(dāng)?shù)臉颖咎幚矸椒ǎ詼p少電子束照射對樣本的損傷。對于特別脆弱或敏感的樣本,可能需要采用較低的電子束能量和較短的曝光時間來避免損傷。此外,可以通過冷凍等技術(shù)來保護(hù)某些生物樣本,并在觀察前進(jìn)行導(dǎo)電處理,以減少樣本損傷。

    ZEM18臺式掃描電鏡

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    作者:澤攸科技


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