掃描電鏡能譜儀組成及原理
日期：2023-04-13
掃描電鏡能譜分析是一種表面分析技術(shù)，它結(jié)合了掃描電鏡成像和能譜分析技術(shù)，可以在微觀尺度下進(jìn)行元素分析和化學(xué)組成分析。
掃描電鏡能譜儀的原理是基于樣品表面受到電子束轟擊后產(chǎn)生的各種信號(hào)，這些信號(hào)包括：二次電子、背散射電子、X射線和光子等。其中，常用的是X射線譜，因?yàn)樗梢蕴峁┰鼗瘜W(xué)信息。
具體來(lái)說(shuō)，掃描電鏡能譜儀通過(guò)在樣品表面掃描電子束，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生X射線。這些X射線具有不同的能量，對(duì)應(yīng)不同的元素，通過(guò)檢測(cè)和分析這些X射線的能譜信息，可以確定樣品中元素的種類(lèi)和含量。
掃描電鏡能譜儀的主要組成部分包括：掃描電子顯微鏡、能譜分析儀和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。掃描電子顯微鏡負(fù)責(zé)樣品表面的掃描和成像，能譜分析儀負(fù)責(zé)檢測(cè)和分析樣品表面產(chǎn)生的X射線能譜信息，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制和整合兩者之間的數(shù)據(jù)。
掃描電鏡能譜儀是一種基于掃描電子顯微鏡和能譜分析技術(shù)的表面分析儀器，能夠提供高分辨率的元素化學(xué)信息，對(duì)于材料科學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)等領(lǐng)域的研究具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
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作者：澤攸科技
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