掃描電鏡的標準配置介紹
日期：2023-03-27
掃描電鏡（SEM）是一種用于高分辨率表面形貌觀察和成分分析的儀器。通常，一個標準的掃描電鏡配置包括以下幾個主要部分：
電子槍：產生高速電子束的部件，通常采用熱陰極或場發射式電子槍。
電子透鏡系統：通過電磁場對電子束進行聚焦和控制，以形成高分辨率的電子束。
樣品臺：支撐待觀察的樣品，通常是旋轉和傾斜的，以便在多個角度下觀察樣品表面。
檢測系統：通過探測樣品表面反射或散射的電子、X射線或者其他信號來生成圖像和分析樣品成分。
顯示和圖像處理系統：將檢測到的信號轉化為可視化的圖像，同時提供圖像處理和分析功能。
真空系統：提供穩定的高真空環境，保證電子束與樣品之間沒有氣體或者污染物質的干擾。
此外，有些掃描電鏡還配備了一些附加功能，如樣品加熱或冷卻裝置、電子束的傾斜和旋轉控制系統、特殊的探測器等，以滿足特定的實驗需求。
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作者：澤攸科技
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