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在目前微觀形貌的分析研究中，隨著半導體器件等高新技術的發展，往往要求對表面的細微結構能夠更深入地觀察和了解，因此發展高分辨力的電鏡一直是生產廠商和用戶們所追求的共同目標。要獲得一張清晰、高分辨的照片，不僅要有一臺性能優越的高分辨力掃描電子顯微鏡，而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經驗，即要考慮以下幾種因素：

（1）入射電子束的束流密度要足夠大，而且穩定→電子源的發射問題。

（2）入射電子束的束斑是否足夠細、足夠旋轉對稱（圓），涉及電子透鏡的設計、加工和裝配水平，以及鏡筒受污染的影響程度等→探針的形成問題。

（3）二次電子的檢測信號和光電轉換效率要高→圖像信號的接收和信噪比的問題。

（4）試樣表面的細節要足夠多和細、組分反差要大→試樣表面的結構問題。

（5）試樣的導電性要好、二次電子產額要高→試樣的特征和制備問題。

（6）加速電壓和束流的大小、束斑的對中、工作距離和圖像的襯度調節等電鏡參數的選擇要合理→操作人員的工作經驗、綜合素質問題。

（7）供電電壓的波動、地面的振動、周圍的磁場和噪聲等各種干擾都要盡可能小→環境條件的問題。

在實際工作中以上這幾個要點很難個個具備都能達到理想狀態，但是作為一個專業的掃描電鏡應用人員來說，應從多方面入手，綜合考慮，如選好電鏡的安裝環境，盡自己的職責維護好設備和制備好試樣，這都是操作人員應該做到的事。電鏡參數的合理選擇和熟練操作，是操作人員經過努力學習、不斷積累經驗而應能實現的目標。至于掃描電鏡的型號和某些參數的優劣，這超出操作人員的能力范圍，只要操作人員能發揮出現有電鏡大的潛能，一般都能得到比較好的成像效果。當然，如果能有一臺高亮度、高分辨的掃描電鏡，那將會更理想。

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