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 隨著現代科技的發展，掃描電鏡及其組合分析功能相繼出現，如微熱臺和冷臺系統，主要用于觀察和分析材料在加熱過程中微觀結構的變化和冷凍；平臺系統主要用于觀察和分析受力過程中發生的微觀結構變化。掃描電鏡結合其他設備的新分析功能，在新材料、新工藝的探索和研究中發揮著重要作用。那么掃描電鏡的工作原理是怎樣的呢？接下來澤攸科技小編就帶大家了解一下掃描電子顯微鏡的工作原理。

下圖就是臺式掃描電子顯微鏡的工作原理示意圖。由電子槍發出的電子束經過柵極靜電聚焦后成為直徑50微米的點光源，然后在加速電壓作用下，經兩三個透鏡組成的電子光學系統，電子束被會聚成幾十埃大小聚焦到樣品表面。在末級透鏡上有掃描線圈，它的功能是使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與試樣物質的相互作用，產生各種信號（二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子等），這些信號被相應的接收器接收，經放大器放大處理后經過運算電路處理，呈現在顯示屏上。由于掃描線圈的電流與運算電路的相應偏轉電流同步，因此試樣表面任意點的發射信號與顯示屏上的亮度一一對應。也就是說，電子束打到試樣上一點時，在顯示屏上就出現一個亮點。而我們所要觀察的試樣在一定區域的特征，則是采用臺式掃描電子顯微鏡的逐點成像分解法顯示出來的。試樣表面由于形貌不同，對應于許多不相同的單元（稱為像元），它們在電子束轟擊后，能發出二次電子、背散射電子等信號，依次從各像元檢出信號，再一一傳送出去。傳送的順序是從左上方開始到右下方，依次一行一行地傳送像元，直至傳送完一幅或一幀圖像。采用這種圖像分解法，就可以用一套線路傳送整個試樣表面的不同信息。為了按照規定的順序檢測和傳送各像元處的信息，就要把聚得很細的電子束在試樣表面做逐點逐行的運動，也就是光柵狀掃描。

                 圖1 臺式掃描電子顯微鏡結構原理示意圖

國產臺式掃描電子顯微鏡

以上就是臺式掃描電子顯微鏡的基本結構和原理介紹。掃描電子顯微鏡操作簡單，觀察方便，搭配適當的探測器后可以做微區成分分析、晶體結構分析以及各種原位實驗。這也是為什么掃描電鏡得到如此普遍應用的原因之一。希望以上的介紹能對大家有所幫助。如果需要了解臺式掃描電子顯微鏡產品及價格，歡迎您咨詢