掃描電鏡電子槍工作原理
日期：2023-02-27
掃描電鏡電子槍的基本工作原理是通過加熱陰極發(fā)射出電子，然后利用加速電場(chǎng)將電子加速到較高的能量水平，通過電磁透鏡系統(tǒng)將電子聚焦成細(xì)小的電子束。這個(gè)電子束經(jīng)過樣品表面時(shí)，會(huì)與樣品表面發(fā)生相互作用，發(fā)射出次級(jí)電子或背散射電子等信號(hào)，然后這些信號(hào)被探測(cè)器接收并轉(zhuǎn)換成圖像信號(hào)，用于形成掃描電鏡圖像。
此外，掃描電鏡電子槍的性能取決于陰極的材料和形狀、加速電場(chǎng)的強(qiáng)度和分布、聚焦極和透鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)等因素。常見的SEM電子槍材料包括鎢、銩、銠等，不同材料的電子發(fā)射性能和壽命有所差別。
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作者：澤攸科技