掃描電鏡與透射電鏡的區(qū)別
日期：2023-01-17
掃描電鏡與透射電鏡都是用來(lái)獲取樣品信息的設(shè)備，那么二者有何區(qū)別呢？
電子束光路位置不同
透射電鏡的樣品在電子束中間，電子源在樣品上方發(fā)射電子，經(jīng)過(guò)聚光鏡，然后穿透樣品后，有后續(xù)的電磁透鏡繼續(xù)放大電子光束，之后投影在熒光屏幕上。
掃描電鏡的樣品在電子束末端，電子源在樣品上方發(fā)射的電子束，經(jīng)過(guò)幾級(jí)電磁透鏡縮小，到達(dá)樣品。
工作原理區(qū)別
透射電鏡：電子束在穿過(guò)樣品時(shí)，會(huì)和樣品中的原子發(fā)生散射，樣品上某一點(diǎn)同時(shí)穿過(guò)的電子方向是不同，這些電子通過(guò)過(guò)物鏡放大后重新匯聚，形成該點(diǎn)一個(gè)放大的實(shí)像，這個(gè)和凸透鏡成像原理相同。
掃描電鏡：利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。當(dāng)電子轟擊樣品表面時(shí)會(huì)產(chǎn)生各種信號(hào)，其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號(hào)來(lái)自樣品的特定發(fā)射區(qū)域，它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)等信息。
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作者：澤攸科技
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