掃描電鏡與透射電鏡的區別
日期：2023-01-17
掃描電鏡與透射電鏡都是用來獲取樣品信息的設備，那么二者有何區別呢？
電子束光路位置不同
透射電鏡的樣品在電子束中間，電子源在樣品上方發射電子，經過聚光鏡，然后穿透樣品后，有后續的電磁透鏡繼續放大電子光束，之后投影在熒光屏幕上。
掃描電鏡的樣品在電子束末端，電子源在樣品上方發射的電子束，經過幾級電磁透鏡縮小，到達樣品。
工作原理區別
透射電鏡：電子束在穿過樣品時，會和樣品中的原子發生散射，樣品上某一點同時穿過的電子方向是不同，這些電子通過過物鏡放大后重新匯聚，形成該點一個放大的實像，這個和凸透鏡成像原理相同。
掃描電鏡：利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。當電子轟擊樣品表面時會產生各種信號，其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號來自樣品的特定發射區域，它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結構等信息。
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作者：澤攸科技
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