澤攸科技PicoFemto掃描電鏡原位MEMS氣氛臺，將MEMS氣氛環境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統允許研究者在氣氛環境中原位、動態、高分辨地對樣品的形貌結構和化學組分進行綜合表征，大大拓展了掃描電鏡的功能與應用領域。該產品可使研究者可以在掃描電鏡中實時觀測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應，將您的掃描電鏡從一臺靜態成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室。

? 掃描電鏡指標：

▲ 兼容指定類型電鏡

▲ 保證電鏡原有的真空度

▲ MEMS反應微腔指標

▲ 超薄氮化硅膜窗口

▲ 樣品漂移優于0.7 nm/min

? 熱學指標：

▲ 溫度范圍：室溫到800 °C 

▲ 溫度穩定性：優于0.1 ℃

? 氣體流動指標：

▲ 三通道混氣

▲ 氣壓范圍：0-1 bar

▲ 可通氣體：H2、N2、02、He、CO、CO2、CxHy

▲ 氣體流速：≥0.1 sccm

▲ 流速范圍：1 sccm×3（N2）

▲ 控壓范圍：100 mbar-1000 bar 

▲ 軟件控制