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    臺階儀 每一部工程作品都精雕細(xì)琢

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    全自動臺階儀 JS3000B

    全自動臺階儀 JS3000B 國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

    服務(wù)電話:400-966-2800
    服務(wù)手機:15756003283(微信同號)

      國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。 

      特點

      量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計、售后便捷、極高性價比

      應(yīng)用范圍

      ▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

      ▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

      ▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

      ▲ 3D掃描成像

      ▲ 計劃任務(wù)和多點掃描

      ▲ 批量測試晶圓,批量處理數(shù)據(jù)等

      系統(tǒng)組成

      ▲ EFEM(LP+ROBOT+ALINGER)

      ▲ JS300B

      選配品

      ▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

      ▲ FFU模塊

      ▲ 靜電消除模塊

      ▲ E84接口

      技術(shù)參數(shù)

      技術(shù)參數(shù)

      軟件界面

      軟件界面

      掃描圖

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      18nm樣品

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      68um樣品

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