掃描電鏡充電現象的快速識別方法
日期:2025-12-03
在掃描電鏡觀察過程中,非導電樣品或導電性差的區域容易出現充電現象,導致圖像失真。快速識別充電有助于及時調整參數,避免錯誤判斷樣貌。
掃描電鏡充電現象的快速識別方法
圖像亮度突然不均或局部發白
畫面出現“局部過亮、發白、過曝”的區域,通常表示電子堆積導致信號飽和。
圖像邊緣漂移或整體飄動
圖像出現緩慢滑動、漂移、扭曲變化,是典型的正負電荷積累造成的偏轉效應。
細節突然模糊,分辨率下降
微結構本來清晰,但隨著掃描時間延長逐漸模糊,說明電荷在不斷累積。
出現不規則亮點或閃爍
畫面中出現瞬間亮點、跳動點或閃爍,是電子束被偏轉的常見表現。
同一位置不同倍率下形貌不一致
低倍正常、高倍失真或漂移,說明高倍下充電更明顯,是快速判斷的有效方式。
調低電壓后圖像明顯改善
加速電壓從 15 kV 降到 5 kV 或 1–2 kV 后圖像變穩,基本可確認是充電問題。
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作者:澤攸科技
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