中文
English

掃描電鏡圖像出現邊緣失真，主要是因為電子束在掃描范圍邊緣區域時受到磁場畸變、透鏡像差或樣品傾斜等因素的影響，使得邊緣放大率或分辨率降低。為了減少或避免這種邊緣失真，可以從以下幾個方面著手：

首先，要優化聚焦和像場校正。在調焦時不要只在圖像中心進行，而應在邊緣區域也檢查清晰度。通過調整消像散（stigmator）可以校正束斑的橢圓畸變，使邊緣與中心區域的分辨率一致。若儀器帶有像場校正功能，應在高放大下反復調整，使全視場成像均勻。

其次，控制樣品的安裝角度與位置。樣品應盡量保持平整、水平，且中心位于電子束光軸上。如果樣品傾斜過大或高度不一致，會導致掃描面與束軸不垂直，使圖像邊緣產生拉伸、壓縮等幾何畸變。對于大樣品，應盡量選擇中間區域成像。

第三，減少掃描范圍與畸變累積。在成像時避免使用過大的放大范圍或掃描幅度，尤其是在較低工作距離下。適當增大工作距離，可以讓電子束在掃描邊緣時的入射角變化更小，從而改善邊緣成像一致性。

第四，檢查透鏡參數與系統穩定性。若物鏡電流不穩定、真空波動或電子槍發射不均，都會使電子束軌跡發生輕微漂移。應在設備充分預熱、真空穩定后成像，并定期進行電子光學系統校準。

不同型號與品牌的掃描電鏡在像場校正方式、光學系統設計及掃描控制算法上存在差異，因此在調節過程中應參照設備說明書或廠商提供的操作指南，結合具體機型特點進行優化，以獲得全視場高質量圖像。