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在掃描電鏡（SEM）成像中，偽影是指非真實反映樣品結構的圖像特征，常由設備、樣品或操作問題引起。判斷是否出現偽影，可以從以下幾個方面入手：

1. 圖像中出現重復或周期性結構

特征：規(guī)則條紋、網格狀圖案、重復的圖像元素；

常見原因：電磁干擾、掃描線同步問題、樣品上有污染物；

判斷方法：觀察圖像是否存在非自然、周期性的花紋，尤其在不同放大倍率下仍固定存在。

2. 圖像邊緣或整個畫面模糊不均

特征：某些區(qū)域清晰，另一些區(qū)域始終模糊；

常見原因：樣品傾斜、未對焦、充電效應；

判斷方法：調整對焦無改善，或模糊區(qū)域隨掃描區(qū)域改變而變化。

3. 出現異常亮點或暗點

特征：不規(guī)則的閃亮點、黑點；

常見原因：探測器噪聲、樣品污染、電子束晃動；

判斷方法：相同區(qū)域多次掃描是否重復出現，是否與樣品實際形貌對應。

4. 圖像漂移或重影

特征：圖像整體抖動、重影、拖影；

常見原因：樣品未固定牢、漂移、掃描速度過慢、真空不穩(wěn)；

判斷方法：是否隨時間改變而移動；提高掃描速度后是否改善。

5. 輻照損傷或束斑效應偽影

特征：圖像中央區(qū)域明顯變亮或發(fā)黑，或有非自然邊緣；

常見原因：電子束照射時間過長、樣品敏感；

判斷方法：是否隨著曝光時間的延長而加重，是否出現在易損材料中。