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掃描電鏡（SEM）圖像在放大后出現(xiàn)模糊，是較常見(jiàn)的問(wèn)題，影響微納米結(jié)構(gòu)觀察的清晰度與分辨率。出現(xiàn)模糊的原因可能來(lái)自多個(gè)方面，以下是常見(jiàn)原因及對(duì)策：

常見(jiàn)原因與應(yīng)對(duì)策略

1. 沒(méi)有準(zhǔn)確對(duì)焦

表現(xiàn)：圖像整體模糊，邊緣無(wú)清晰輪廓。

解決方法：

重新使用焦距（focus）和工作距離（WD）進(jìn)行精細(xì)調(diào)焦；

建議在低倍率對(duì)焦，然后逐步放大并繼續(xù)微調(diào)；

可啟用“行掃描”或“慢掃描”模式提高對(duì)焦準(zhǔn)確性。

2. 樣品未固定牢靠或漂移

表現(xiàn)：圖像邊緣模糊拖影，焦點(diǎn)對(duì)不上。

解決方法：

檢查樣品是否牢固貼在樣品臺(tái)上；

使用導(dǎo)電膠或碳膠加固樣品；

避免在高倍率下使用移動(dòng)不穩(wěn)定的樣品區(qū)域。

3. 電子束未聚焦良好（電子光學(xué)問(wèn)題）

表現(xiàn)：圖像中央或整體模糊，不隨調(diào)焦變化改善。

解決方法：

調(diào)整束斑大小（spot size）；

如果設(shè)備支持，進(jìn)行“聚焦校正”或“束斑調(diào)整”；

檢查電子槍是否需要更換或維護(hù)。

4. 加速電壓選擇不當(dāng)

表現(xiàn)：圖像發(fā)虛、對(duì)比度差，尤其在非導(dǎo)體樣品上更明顯。

解決方法：

對(duì)導(dǎo)體樣品可適當(dāng)提高加速電壓（如10–20?kV）；

對(duì)非導(dǎo)體樣品建議使用低電壓成像（如1–5?kV）以減少充電效應(yīng)；

多試不同電壓，找出圖像清晰時(shí)的工作條件。

5. 樣品表面帶電或不導(dǎo)電

表現(xiàn)：局部模糊、拖尾、閃爍等偽影。

解決方法：

為樣品鍍金、碳或鉑等導(dǎo)電膜；

確保樣品臺(tái)與樣品之間導(dǎo)電良好；

使用低真空模式（如LowVac或VP模式）抑制充電。

6. 過(guò)度放大超過(guò)儀器分辨極限

表現(xiàn)：放大后圖像看似模糊，其實(shí)是設(shè)備分辨率限制。

解決方法：

避免“數(shù)字放大”（Digital Zoom），應(yīng)使用光學(xué)/系統(tǒng)原生放大；

檢查SEM說(shuō)明書(shū)中分辨率極限，不建議超過(guò)其倍率；

若需更高分辨率，應(yīng)使用場(chǎng)發(fā)射SEM（FE-SEM）。

7. 像差未校正（Stigmation）

表現(xiàn)：圖像出現(xiàn)拉伸、橢圓模糊，特別在高倍率下更嚴(yán)重。

解決方法：

使用SEM控制界面中的“Stigmator”功能進(jìn)行圖像矯正；

通常需在每次對(duì)焦或切換放大倍率后重新調(diào)整。

建議的調(diào)試流程（順序）

降低倍率，初步對(duì)焦

逐步放大，每一級(jí)放大后重新對(duì)焦與像差校正

調(diào)整加速電壓與束斑大小

檢查樣品是否穩(wěn)定并良好導(dǎo)電

使用慢掃描模式獲取高清圖像

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像放大后出現(xiàn)模糊怎么辦。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢(xún)