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在掃描電鏡 (SEM) 使用過程中，漂移與失焦問題會影響圖像的清晰度與精度。以下是應對這些問題的詳細方法：

1. 減少樣品漂移的方法

1.1 等待熱穩定 (Thermal Stabilization)

原因: 樣品剛放入時可能因溫度變化導致熱膨脹或收縮，從而引發漂移。 

解決辦法: 等待 10-30 分鐘 讓樣品與真空室溫度平衡。 

尤其是對于金屬或復合材料樣品，熱穩定更為重要。 

1.2 降低束流強度 (Beam Current)

原因: 過高的電子束流強度會引發樣品局部加熱，導致漂移。 

解決辦法: 使用較低的 探針電流 (Probe Current)，在保證成像質量的前提下盡量減少電流強度。 

選擇合適的 Spot Size（束斑大小）。 

1.3 增加真空度

原因: 較低的真空度會導致殘余氣體吸附或釋放，從而引起樣品移動。 

解決辦法: 盡量提高真空度（如 < 1010^{-5}10 Pa）。 

使用 低溫除氣 (Bake-Out) 或 預除氣 (Pre-Baking) 方法去除表面吸附的氣體分子。 

1.4 減少磁場和振動干擾

原因: 外部磁場與機械振動可導致樣品漂移。 

解決辦法: 使用 防震臺 和 磁屏蔽裝置。 

盡量避免在設備旁運行大型電機或其他磁性設備。 

1.5 固定與導電處理

原因: 樣品固定不穩或充電效應會導致漂移。 

解決辦法: 使用 導電膠 或 銅帶 固定樣品，并確保良好接地。 

對非導電樣品進行 鍍金、鍍碳 等導電處理。 

2. 減少失焦問題的方法

2.1 優化加速電壓 (Acceleration Voltage)

原因: 過高的加速電壓會增加樣品內部散射，導致失焦。 

解決辦法: 根據樣品材質選擇合適的加速電壓（如 1-5 keV 適合薄膜、低密度樣品；10-20 keV 適合金屬、厚樣品）。 

2.2 校準焦平面 (Focal Plane Calibration)

原因: 電子束的焦平面偏離會導致失焦。 

解決辦法: 使用 SEM 自帶的自動對焦 (Auto Focus) 或 聚焦斑點 (Stigmator) 功能。 

手動調節 Working Distance (工作距離)，使其與設備值一致（通常為 5-10 mm）。 

2.3 消除充電效應 (Charge Effect)

原因: 非導電樣品會產生充電效應，導致電子束散射和失焦。 

解決辦法: 使用 低真空模式 (Low Vacuum / VP-SEM) 或 環境掃描電鏡 (ESEM)。 

進行 金屬鍍膜 (如 Au, Pt) 或涂覆導電漆。 

2.4 使用 Astigmatism 校正

原因: 非軸對稱的磁場或電子光學系統誤差會導致像差（Astigmatism），引起失焦。 

解決辦法: 調節 消像散器 (Stigmator) 的 X 軸與 Y 軸，直至圖像邊緣清晰、圓形物體無拉伸。 

2.5 控制環境溫度與濕度

原因: 溫度變化會導致電子槍、樣品臺等部分發生形變，引起失焦。 

解決辦法: 保持室溫 20-25°C，濕度 30-50%。 

設備開機后應先 預熱 30 分鐘以上。 

3. 軟件方法與后期補償

3.1 數字圖像漂移校正 (Drift Correction)

功能: 使用 SEM 的 漂移校正功能（如 Cross-Correlation 方法）自動補償因樣品或環境引起的漂移。 

適合長時間曝光或高分辨成像時使用。 

3.2 圖像疊加與后處理

方法: 使用 多次低劑量掃描疊加 (Frame Integration)，減少因漂移導致的模糊。 

后期使用圖像處理軟件（如 ImageJ 或 Igor Pro）進行對齊與銳化。

以上就是澤攸科技小編分享的如何應對掃描電鏡的漂移與失焦問題。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢