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在掃描電鏡 (SEM) 中，調(diào)整光闌 (Aperture) 是提升圖像清晰度、對(duì)比度和景深的關(guān)鍵步驟。光闌主要用于控制電子束的直徑、發(fā)散角和電流密度，從而影響圖像的分辨率和噪聲水平。以下是如何調(diào)整光闌以獲得更清晰圖像的詳細(xì)指南：

1. 了解光闌的作用

控制束斑尺寸 (Spot Size): 光闌越小，束斑尺寸越小，圖像分辨率越高，但信號(hào)強(qiáng)度下降。 

光闌越大，束斑尺寸越大，信號(hào)強(qiáng)度增加，但分辨率降低。 

調(diào)節(jié)電流密度: 較大的光闌提供更高的探針電流（Probe Current），適合成分分析（如 EDS）。 

較小的光闌減少探針電流，提高分辨率，適合高分辨成像。 

改善景深 (Depth of Field): 較小的光闌增大電子束的發(fā)散角，提高景深，適合觀察起伏較大的樣品。 

2. 光闌類型與功能

孔徑光闌 (Aperture): 控制電子束的發(fā)散角和電流。 

物鏡光闌 (Objective Aperture): 位于物鏡下方，主要影響分辨率和對(duì)比度。 

消色差光闌 (Stigmator Aperture): 校正電子束的非軸對(duì)稱偏差（像散）。 

選擇性光闌 (Selectable Aperture): 某些 SEM 配備可切換多種孔徑大小的光闌盤，適應(yīng)不同成像需求。 

3. 調(diào)整光闌的具體步驟

步驟 1: 選擇合適的光闌孔徑大小

高分辨率需求: 選擇較小的光闌 (10-30 μm)。 優(yōu)點(diǎn): 減少束斑尺寸，提升分辨率。 

缺點(diǎn): 電流減少，信噪比下降。 

信號(hào)強(qiáng)度需求 (如 EDS 分析): 選擇較大的光闌 (50-100 μm)。 優(yōu)點(diǎn): 增強(qiáng)探針電流，提高信號(hào)強(qiáng)度。 

缺點(diǎn): 分辨率下降。 

步驟 2: 調(diào)節(jié)光闌位置與對(duì)準(zhǔn) (Alignment)

進(jìn)入光闌對(duì)準(zhǔn)模式 (Aperture Alignment Mode): 通常在 SEM 的 Beam Alignment 或 Aperture Alignment 選項(xiàng)中。 

觀察圖像中心亮度: 如果光闌偏心，圖像中心會(huì)出現(xiàn)亮斑或陰影。 

使用光闌調(diào)整旋鈕: 調(diào)節(jié) X-Y 軸旋鈕，使圖像亮度均勻、無(wú)偏心陰影。 

重復(fù)觀察與微調(diào): 適度放大圖像，反復(fù)調(diào)整，確保光闌中心與電子束光軸一致。 

步驟 3: 調(diào)整物鏡光闌 (Objective Aperture)

減少像差: 選擇適中大小的物鏡光闌（如 20-40 μm），兼顧分辨率與信號(hào)強(qiáng)度。 

校正像散 (Astigmatism): 使用 Stigmator Controls 調(diào)整 X、Y 像散參數(shù)，觀察圖像中細(xì)小特征是否清晰對(duì)稱。 

檢查景深: 適當(dāng)縮小物鏡光闌可增加景深，適合觀察粗糙或高低差明顯的樣品。 

步驟 4: 調(diào)整束斑尺寸 (Spot Size) 與電流

縮小束斑尺寸: 通過(guò)選擇較小光闌，減少電子束發(fā)散角，提高分辨率。 

增加電流密度: 通過(guò)選擇較大光闌，增加探針電流，適合成分分析和觀察低對(duì)比度樣品。 

設(shè)置: 高分辨率: Spot Size 設(shè)為 2-3 nm，光闌小于 30 μm。 

高信號(hào)強(qiáng)度: Spot Size 設(shè)為 5-10 nm，光闌大于 50 μm。 

以上就是澤攸科技小編分享的如何調(diào)整掃描電鏡的光闌獲得更清晰的圖像。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢