掃描電子顯微鏡（SEM）的放大倍率通過調整電子束的掃描范圍和成像條件來實現。以下是調節SEM放大倍率的主要方法和原理：

1. 電子束掃描范圍

原理：

放大倍率定義：在SEM中，放大倍率（M）定義為顯示器上圖像的尺寸與樣品實際尺寸的比值。

掃描范圍：電子束在樣品表面的掃描范圍（通常以矩形區域表示）決定了圖像覆蓋的實際樣品區域。當掃描范圍減小時，圖像中的樣品面積變小，放大倍率增加；反之，掃描范圍變大時，放大倍率減小。

調節方法：

調節掃描線圈電壓：通過調整控制掃描線圈的電壓，可以改變電子束的偏轉角度，從而改變掃描范圍。更小的偏轉角度對應更小的掃描范圍，放大倍率增加。

控制面板調節：SEM的控制面板通常提供直接調節放大倍率的旋鈕或數字輸入功能。調節該設置時，實際上是在控制電子束掃描范圍的大小。

2. 物鏡鏡頭強度

原理：

物鏡鏡頭（Objective Lens）：SEM中的物鏡鏡頭用于聚焦電子束。調整物鏡鏡頭的聚焦條件（如鏡頭電流或電壓）可以改變電子束的匯聚程度，從而影響圖像的放大倍率。

調節方法：

調節物鏡鏡頭電流：通過增加物鏡鏡頭電流，可以減小電子束的焦點尺寸，使得掃描范圍縮小，放大倍率增加。

調節物鏡鏡頭電壓：調整物鏡鏡頭的電壓可以改變電子束的聚焦深度，也會影響圖像放大倍率。

3. 工作距離（Working Distance）

原理：

工作距離定義：工作距離是從樣品表面到物鏡鏡頭下端的距離。工作距離的變化會影響電子束到達樣品表面的匯聚程度，從而影響放大倍率。

調節方法：

改變樣品位置：通過調整樣品臺的高度（升降），改變樣品到物鏡鏡頭的距離。減少工作距離可以增加放大倍率，反之亦然。

4. 顯示設置

原理：

顯示分辨率：顯示器的分辨率和圖像顯示的像素大小也會影響感知的放大倍率。即使電子束的掃描范圍不變，通過改變顯示設置，也可以改變圖像的顯示放大效果。

調節方法：

調整顯示分辨率：在計算機軟件或顯示器設置中，改變顯示圖像的分辨率。例如，將圖像放大或縮小以適應不同的顯示器尺寸或輸出需求。

5. 電子槍加速電壓

原理：

電子束能量：加速電壓決定了電子束的能量，影響電子束的穿透能力和散射角度。雖然加速電壓主要影響圖像分辨率和樣品穿透深度，但在某些條件下，也會對放大倍率產生影響。

調節方法：

調節加速電壓：在調整放大倍率時，可以適當調整電子槍的加速電壓，以優化圖像質量和分辨率，從而間接影響放大倍率。

6. 軟件控制與自動化

原理：

自動放大調節：現代SEM設備通常配備軟件控制，可以自動根據預設條件調整放大倍率。

調節方法：

使用預設倍率：在SEM軟件界面中選擇預設的放大倍率，系統會自動調整電子束的掃描范圍、物鏡鏡頭參數等，以達到所需的倍率。

腳本控制：對于一些用戶，可以編寫控制腳本，通過軟件自動化執行復雜的放大倍率調整和成像過程。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電子顯微鏡的放大倍率如何調節的介紹。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢