清潔和維護掃描電子顯微鏡（SEM）樣品腔是確保設備長期穩(wěn)定運行和獲得高質量圖像的重要步驟。以下是清潔和維護SEM樣品腔的詳細步驟和建議：

清潔樣品腔的步驟

關閉設備并確保安全：

關閉SEM設備并確保其處于斷電狀態(tài)。

確認樣品腔內已經真空釋放，開艙門時要小心，避免快速開門造成空氣快速流入。

取出樣品臺和樣品架：

取出樣品臺和樣品架，并將其放置在干凈的工作臺上。

清潔樣品臺和樣品架：

使用無絨布或擦鏡紙輕輕擦拭樣品臺和樣品架表面。

如有必要，可以用少量異丙醇或乙醇進行擦拭，隨后用干凈的無絨布擦干。

清潔樣品腔內部：

使用專用的無塵擦拭紙或無絨布輕輕擦拭樣品腔內部表面。

可以使用吸塵器輕輕吸走樣品腔內的灰塵和顆粒物。

如有必要，可以用少量異丙醇或乙醇進行清潔，但要確保不會有液體殘留在樣品腔內。

檢查和更換O型密封圈：

檢查樣品腔門上的O型密封圈是否有磨損或裂痕。

如有需要，及時更換O型密封圈，以確保樣品腔的密封性。

安裝樣品臺和樣品架：

確認樣品腔內部清潔干燥后，將樣品臺和樣品架重新安裝回樣品腔內。

關閉樣品腔門并抽真空：

關閉樣品腔門并確保其密封良好。

開啟SEM設備并開始抽真空，確保樣品腔達到所需的真空度。

維護建議

定期清潔：

根據設備使用頻率，定期進行樣品腔清潔，一般建議每使用幾十次后進行一次清潔。

避免污染：

使用干凈的手套操作樣品，避免油脂和污物進入樣品腔。

盡量使用經過清潔和干燥處理的樣品，減少污染源。

監(jiān)控真空系統(tǒng)：

定期檢查和維護SEM的真空系統(tǒng)，確保泵和閥門正常工作，防止漏氣。

以上就是澤攸科技小編分享的如何清潔和維護掃描電鏡的樣品腔的介紹。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢