掃描電鏡成像中常見的樣品損傷原因有哪些？
日期：2024-02-22
掃描電鏡成像中常見的樣品損傷原因有許多，其中一些主要原因包括：
電子束輻照損傷： 高能電子束在樣品表面與物質相互作用時會引起輻照損傷。這種損傷會導致樣品表面的化學成分變化、晶體結構的破壞和形貌的改變。
充電效應： 在掃描電鏡中，樣品表面可能會由于電子束的照射而帶電，這會產生靜電吸引力和排斥力，導致樣品表面的形貌變化和圖像失真。
樣品的熱損傷： 高能電子束的照射會引起樣品局部的加熱，導致樣品的結構和形貌發生變化，甚至引起樣品的熔化或氣化。
離子束損傷： 有時在掃描電鏡成像前會使用離子束清潔樣品表面或修飾樣品結構，如果離子束能量過高或時間過長，可能會導致樣品表面的損傷和形貌的改變。
樣品制備不當： 不適當的樣品制備可能導致樣品表面存在殘留物、氧化物、污染物等，這些物質可能會影響掃描電鏡成像并導致樣品損傷。
機械損傷： 樣品在制備、轉移或操作過程中可能受到機械損傷，如劃痕、碎裂等，這些損傷可能會影響樣品的形貌和成像效果。
為了避免樣品損傷，在掃描電鏡成像前應當注意樣品制備、操作技巧和儀器參數的選擇，以減小樣品與電子束的相互作用，保護樣品的完整性和形貌。
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作者：澤攸科技