臺式掃描電鏡制樣關鍵點
日期：2023-05-09
臺式掃描電鏡是一種常用的材料表征技術，其制樣質量是影響SEM觀察結果的關鍵因素之一。以下是掃描電鏡制樣的關鍵點：
樣品準備：SEM制樣之前需要對樣品進行處理和準備。不同的樣品類型需要采用不同的處理方法，例如金屬樣品需要拋光和電解拋光，生物樣品需要進行固定和切片等處理。在樣品準備過程中，應注意避免引入外來雜質和污染物，以及對樣品形態和結構的破壞。
樣品固定：將樣品固定在制樣支撐物上。常用的制樣支撐物包括碳膜、網狀金屬片、銅網等，應根據樣品類型和分析需求選擇合適的支撐物。在固定樣品的過程中，應避免強烈的機械沖擊和溫度變化，以避免樣品形態和結構的改變。
制備薄膜：在樣品固定后，需要將其制備成薄膜以便于SEM觀察。制備薄膜的方法有多種，例如剪切法、分散法、濺射法等。制備薄膜時需要控制薄膜厚度和均勻性，避免出現重疊、開裂、變形等情況。
涂覆導電層：SEM需要在真空環境下進行觀察，因此需要涂覆導電層以便于電子傳導。常用的導電層有碳膜、金屬膜等。涂覆導電層時應注意導電層厚度和均勻性，以避免影響SEM觀察的精度和清晰度。
SEM參數設置：SEM參數設置對SEM觀察結果的影響很大。在設置SEM參數時，需要根據樣品類型、制備方法和分析需求等方面綜合考慮，調整電子束的加速電壓、聚焦、放大倍數、掃描速度等參數，以獲得高清晰度、高對比度的SEM圖像。
制備SEM樣品需要掌握多種技術和操作方法，對樣品的選擇、處理、固定、制備、涂覆導電層和SEM參數設置等方面都需要注意細節和標準化操作，以保證SEM觀察結果的準確性和可重復性。
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作者：澤攸科技