掃描電鏡如何消除像散
日期：2023-05-08
在SEM掃描電鏡中，像散指的是圖像出現的模糊和扭曲現象。為了消除像散，可以采取以下措施：
調整聚焦：SEM中，調整聚焦是解決像散問題的基本方法之一。通過調整聚焦，可以提高電子束的聚焦度，從而獲得更清晰的圖像。
提高樣品表面平整度：樣品表面平整度越高，SEM圖像的像散就越小。因此，在制備樣品時，應盡可能使樣品表面平整，以減少像散的產生。
選擇合適的工作距離：工作距離是指電子槍與樣品之間的距離。選擇合適的工作距離，可以減小像散的發生，提高SEM圖像的清晰度。
降低掃描速度：降低掃描速度可以減小像散的產生，提高SEM圖像的清晰度。但是，降低掃描速度可能會降低SEM成像的效率，因此需要根據具體情況權衡利弊。
使用電子束抑制器：電子束抑制器是一種附加設備，可以減小像散的發生。在SEM中，電子束抑制器可以通過消除電子束的背散射來減小像散的產生，從而提高SEM圖像的清晰度。
以上措施可以單獨或組合使用，以消除SEM圖像中的像散，并獲得更清晰的圖像。
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作者：澤攸科技
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