在掃描電子顯微鏡（SEM）中，長(zhǎng)時(shí)間掃描是一種有效減少圖像偽影（artifacts）的方法。通過(guò)延長(zhǎng)掃描時(shí)間，能夠平均掉噪聲和電荷積累等干擾因素，從而獲得更高質(zhì)量的圖像。下面是如何設(shè)置長(zhǎng)時(shí)間掃描以減少偽影的詳細(xì)步驟和相關(guān)注意事項(xiàng)。

1. 長(zhǎng)時(shí)間掃描的原理

信噪比提升：通過(guò)長(zhǎng)時(shí)間掃描，SEM 可以多次掃描同一區(qū)域，將多個(gè)掃描幀疊加后取平均值，從而降低隨機(jī)噪聲的影響，提升圖像的信噪比（SNR）。

減少電荷累積效應(yīng)：長(zhǎng)時(shí)間掃描可以以更慢的速率掃描樣品，減少一次性高電子劑量對(duì)樣品的轟擊，從而減少電荷積累帶來(lái)的圖像偽影。

平均化漂移效應(yīng)：樣品在掃描過(guò)程中可能會(huì)發(fā)生輕微的機(jī)械漂移或熱漂移，長(zhǎng)時(shí)間掃描有助于通過(guò)圖像疊加來(lái)平均掉這些漂移效應(yīng)。

2. 設(shè)置長(zhǎng)時(shí)間掃描的步驟

2.1. 降低掃描速度

降低掃描速率：降低掃描速率（scan speed）是長(zhǎng)時(shí)間掃描的關(guān)鍵步驟之一。較低的掃描速率意味著電子束在樣品上的停留時(shí)間更長(zhǎng)，這可以減少噪聲，提升圖像的清晰度。

在 SEM 的控制軟件中，一般可以通過(guò)調(diào)整掃描速度（Scan Speed 或 Dwell Time）來(lái)實(shí)現(xiàn)。

操作步驟：

在 SEM 控制軟件中找到“掃描速率”或“掃描時(shí)間”設(shè)置選項(xiàng)。

選擇較低的掃描速度（通常是較大的 dwell time）。

注意：過(guò)低的掃描速率可能導(dǎo)致熱效應(yīng)或電荷積累，因此需要根據(jù)樣品的特性來(lái)選擇合適的參數(shù)。

2.2. 累積多幀圖像

多幀疊加（Frame Integration）：SEM 控制軟件通常允許進(jìn)行多幀疊加（frame integration），即通過(guò)多次掃描相同區(qū)域，疊加這些圖像來(lái)平均化噪聲和減少偽影。

操作步驟：

在 SEM 軟件中找到“幀疊加”或“幀累積”選項(xiàng)（Frame Integration 或 Frame Averaging）。

設(shè)置需要累積的幀數(shù)，通常可以選擇疊加 4 到 64 幀，具體數(shù)量根據(jù)噪聲水平和樣品的穩(wěn)定性來(lái)決定。

SEM 會(huì)自動(dòng)對(duì)這些幀進(jìn)行疊加和平均，生成噪聲更低的圖像。

2.3. 調(diào)節(jié)束電流

降低束電流：降低束電流（Beam Current）可以減少對(duì)樣品的電子束轟擊，從而減輕電荷積累效應(yīng)，避免表面充電導(dǎo)致的偽影。

操作步驟：

在 SEM 設(shè)置中調(diào)整束電流（通常稱為“電子束電流”或“探針電流”）。

降低束電流可以減少樣品表面過(guò)度充電，尤其適用于非導(dǎo)電材料或容易充電的樣品。

2.4. 選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷?/span>

優(yōu)化加速電壓：根據(jù)樣品的性質(zhì)，選擇合適的加速電壓（Accelerating Voltage）。較高的電壓會(huì)使電子束穿透樣品表面，更適合厚樣品，而較低的電壓可以減少非導(dǎo)電樣品的電荷積累效應(yīng)，降低偽影。

操作步驟：

調(diào)整加速電壓。對(duì)于容易充電的樣品，建議使用較低的電壓（例如 1-5 kV）。對(duì)于導(dǎo)電樣品或較厚的樣品，可以使用更高的電壓（例如 10-30 kV）。

2.5. 使用漂移校正

啟用漂移校正：在長(zhǎng)時(shí)間掃描過(guò)程中，樣品可能會(huì)因機(jī)械或熱效應(yīng)而產(chǎn)生漂移。通過(guò)啟用漂移校正功能（Drift Correction），SEM 可以在掃描時(shí)自動(dòng)調(diào)整圖像位置，減少由于樣品漂移導(dǎo)致的偽影。

操作步驟：

在 SEM 設(shè)置中啟用“漂移校正”功能，允許 SEM 在每一幀之間進(jìn)行位置調(diào)整，確保每幀圖像的對(duì)齊精度。

如果漂移較嚴(yán)重，可以嘗試縮短掃描時(shí)間或改進(jìn)樣品固定方式。

3. 附加措施以減少偽影

3.1. 減少電荷累積

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，電荷累積可能會(huì)導(dǎo)致顯著的偽影。可以通過(guò)以下方法來(lái)減少電荷累積：

樣品涂覆導(dǎo)電層：對(duì)非導(dǎo)電樣品表面進(jìn)行導(dǎo)電涂覆（如金、鉑、碳），可以有效減少電荷積累。這種方法適用于絕緣材料或表面電阻較大的樣品。

使用低電壓模式：降低電子束的加速電壓（例如 1-5 kV），可以減少樣品表面的充電效應(yīng)。

3.2. 改進(jìn)真空條件

高真空模式：選擇高真空模式有助于減少樣品表面氣體分子對(duì)電子束的散射，從而減少圖像偽影。

環(huán)境真空模式（ESEM）：對(duì)于易于充電的非導(dǎo)電樣品，ESEM（環(huán)境掃描電子顯微鏡）模式可以使用低真空或濕環(huán)境來(lái)減少電荷積累。

3.3. 減少機(jī)械震動(dòng)

SEM 成像的穩(wěn)定性受外部機(jī)械震動(dòng)的影響。如果實(shí)驗(yàn)室環(huán)境有較多震動(dòng)源，可以通過(guò)以下方法減少震動(dòng)對(duì)圖像質(zhì)量的影響：

安裝減震臺(tái)：在 SEM 下方安裝減震裝置，減少環(huán)境震動(dòng)對(duì)樣品和探針的影響。

優(yōu)化實(shí)驗(yàn)室環(huán)境：將 SEM 安裝在遠(yuǎn)離機(jī)械設(shè)備或人流密集的地方，避免因震動(dòng)導(dǎo)致的圖像偽影。

4. 長(zhǎng)時(shí)間掃描的注意事項(xiàng)

樣品穩(wěn)定性：長(zhǎng)時(shí)間掃描的前提是樣品的物理和化學(xué)穩(wěn)定性。如果樣品在長(zhǎng)時(shí)間掃描過(guò)程中發(fā)生了變形、漂移或揮發(fā)，反而會(huì)引入更多偽影。

熱效應(yīng)：長(zhǎng)時(shí)間掃描時(shí)，電子束會(huì)持續(xù)對(duì)樣品進(jìn)行加熱，導(dǎo)致熱膨脹或形變，尤其是在高電壓和高束流下。可以通過(guò)間歇掃描或使用低束流降低熱效應(yīng)。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中設(shè)置長(zhǎng)時(shí)間掃描以減少圖像偽影。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢