掃描電鏡的空間分辨率如何測(cè)定？

掃描電鏡（SEM）的空間分辨率通常通過(guò)以下幾種方法進(jìn)行測(cè)定：

使用掃描電鏡進(jìn)行納米級(jí)觀察時(shí)需要注意哪些因素？

使用掃描電子顯微鏡（SEM）進(jìn)行納米級(jí)觀察時(shí)，需要特別注意以下幾個(gè)關(guān)鍵因素，以確保高分辨率成像、準(zhǔn)確分析，并減少可能的誤差或偽影。

要提高掃描電子顯微鏡（SEM）的成像速度，同時(shí)保持較高的分辨率，需要綜合優(yōu)化電子束參數(shù)、掃描方式、探測(cè)器設(shè)置和信號(hào)處理。

在掃描電鏡（SEM）成像過(guò)程中，漂移會(huì)導(dǎo)致圖像模糊、細(xì)節(jié)丟失，特別是在高倍率和長(zhǎng)曝光時(shí)間下尤為明顯。

普通的掃描電子顯微鏡（SEM）不能直接觀察濕樣品，因?yàn)?SEM 需要高真空環(huán)境來(lái)防止電子束散射，而濕樣品中的水分在真空中會(huì)迅速蒸發(fā)，導(dǎo)致樣品形態(tài)變化甚至損壞。

在掃描電鏡（SEM）成像過(guò)程中，非導(dǎo)電樣品容易產(chǎn)生充電效應(yīng)，導(dǎo)致圖像模糊、亮度不均、漂移或偽影。

優(yōu)化掃描電鏡（SEM）的曝光時(shí)間需要在信噪比（SNR）、分辨率、樣品損傷和成像時(shí)間之間取得平衡。

掃描電鏡（SEM）光束偏移會(huì)導(dǎo)致成像不清晰、分辨率下降、甚至樣品漂移。