掃描電鏡如何保養？

掃描電鏡?是一種非常精密的儀器，需要進行定期的保養和維護，以確保其長期穩定的工作和高質量的成像效果。以下是一些常見的掃描電鏡保養方法：

2023澤攸精選自研科學儀器清單

澤攸自研國產科學儀器：臺式SEM、原位電鏡系統，STM，臺階儀，PECVD，二維材料轉移臺

三月一日至三日，澤攸科技攜完全自主研制的材料表征測量及半導體加工設備，應邀出席第十三屆國際納米技術產業博覽會（以下簡稱納博會）。

掃描電鏡SEM可以通過能譜儀（EDS）來對樣品的成分進行分析。EDS是一種通過測量樣品表面上散射的X射線來確定樣品中元素組成的技術。

掃描電鏡SEM可以用來觀察和分析各種材料的表面形貌和微結構。那么掃描電鏡可以分析什么呢？

掃描電鏡通過高能電子與樣品間的相互作用而成像。掃描電鏡中的電子槍會發射出高能電子束，并且這個電子束被聚焦成一個非常小的束斑，然后通過掃描樣品表面來獲取信號。

掃描電鏡是一種利用高能電子束與樣品相互作用，產生反射、透射、散射等信號，通過信號的捕捉與分析，獲取樣品表面形貌、成分和結構等信息的儀器。它的結構組成包括以下幾個主要部分：

掃描電鏡電子槍的基本工作原理是通過加熱陰極發射出電子，然后利用加速電場將電子加速到較高的能量水平，最后通過電磁透鏡系統將電子聚焦成細小的電子束。