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掃描電鏡（SEM）的空間分辨率通常通過以下幾種方法進(jìn)行測定：

1. 使用標(biāo)準(zhǔn)分辨率測試樣品

(1) 金顆粒標(biāo)準(zhǔn)樣品（Gold on Carbon）

常用的金顆粒（Au on C）樣品，由納米級金顆粒隨機(jī)分布在碳基底上，具有明確的邊界，可用于分辨率測試。 

方法：調(diào)整電子束聚焦，觀察最小可分辨的金顆粒尺寸，并記錄相應(yīng)的加速電壓、探測模式等參數(shù)。 

(2) 線對分辨率樣品（Resolution Test Chart）

USAF 1951測試圖或SiO?線柵，包含不同間距的圖案，用于測定SEM的分辨能力。 

方法：調(diào)整焦距和束流，找到可以清晰分辨的最小線對，并計(jì)算相應(yīng)的空間分辨率。 

2. 觀察邊界清晰度

選取具有銳利邊界的樣品（如金屬納米顆粒、硅刻蝕結(jié)構(gòu)）。 

在高倍率下，觀察邊界的銳度，利用**邊界擴(kuò)展測量（Edge Spread Function, ESF）**計(jì)算分辨率。 

3. 計(jì)算半峰全寬（FWHM）

對圖像中的細(xì)小結(jié)構(gòu)（如納米顆粒、臺階）做灰度分析，得到邊緣強(qiáng)度變化曲線。 

計(jì)算曲線的半峰全寬（Full Width at Half Maximum, FWHM），可近似反映SEM的分辨率。 

4. 通過點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF）測定

電子束的擴(kuò)散會影響分辨率，可以通過測量點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（Point Spread Function, PSF）來評估。 

方法：使用孤立納米顆粒，測量電子束作用下的信號擴(kuò)散范圍，分析其影響區(qū)域。 

5. 影響因素

電子束能量（加速電壓）：高電壓（>15 kV）適用于深部成像，但易導(dǎo)致電子散射，降低分辨率；低電壓（<5 kV）適合表面高分辨成像。 

工作距離（WD）：較短工作距離可提高分辨率，但可能降低景深。 

物鏡孔徑（Aperture）：小孔徑可減少散焦，提高分辨率。 

探測器模式：二次電子（SE）探測適合表面高分辨成像，背散射電子（BSE）探測適用于成分對比。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的空間分辨率如何測定的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢