在掃描電鏡（SEM）成像過程中，非導電樣品容易產生充電效應，導致圖像模糊、亮度不均、漂移或偽影。為了避免這些問題，可以采取以下措施：

1. 物理方法：提高樣品導電性

(1) 噴涂導電涂層

對非導電樣品（如生物樣品、陶瓷、高分子材料）進行導電涂層處理，以提供電子通路：

常見涂層材料：金（Au）、鉑（Pt）、碳（C）、銀（Ag）、鉻（Cr）。 

涂層厚度：建議 5–20 nm，避免影響微觀結構細節。 

方法： 熱蒸發（Thermal Evaporation）：適用于均勻薄層。 

濺射鍍膜（Sputter Coating）：更均勻，可控性更好。 

碳蒸發（Carbon Evaporation）：適用于 EDS（能譜分析），避免 X 射線干擾。 

選擇：

SE（二次電子）成像：Au、Pt 涂層。 

BSE（背散射電子）成像：C 涂層（避免高原子序數影響對比）。 

EDS 分析：C、Cr 涂層（避免元素干擾）。 

(2) 在樣品表面噴涂導電膠

用 銀漿（Silver Paint）、碳膠（Carbon Paste） 連接樣品與樣品臺，提高導電性。 

適用于局部導電處理，如陶瓷或復合材料樣品。 

(3) 選擇合適的載物臺

采用導電載物臺（如鋁臺、銅臺），增強電荷釋放通道。 

使用導電膠帶（Carbon Tape）將樣品粘附，提高電荷泄放能力。 

2. SEM 操作參數優化

(1) 降低加速電壓

高電壓（>15 kV）易導致電子深層穿透，增加充電效應。 

低電壓（1–5 kV）可以減少電子滯留，降低充電偽影。 

策略：

高分辨率成像：低電壓（1–3 kV），減少樣品充電。 

背散射成像：適當提高電壓（5–10 kV），提升信號質量。 

(2) 采用環境掃描電鏡（ESEM）

ESEM（Environmental SEM） 適用于潮濕、生物、非導電樣品，通過低氣壓水蒸氣中和充電。 

典型工作氣壓：100–1000 Pa。 

(3) 選擇合適的探測器

低電壓+二次電子探測器（SE） → 適合高分辨率成像。 

低電壓+背散射電子探測器（BSE） → 適合成分對比，提高充電樣品可視化效果。 

ESEM 模式+氣體二次電子探測器（GSED） → 適合非導電材料。 

3. 樣品安裝與制備

(1) 增加導電路徑

用導電膠帶或銀膠連接樣品與樣品臺，確保電荷泄放。 

盡量減少樣品懸空區域，避免孤立電荷積累。 

(2) 機械研磨或離子拋光

對表面不平整的樣品進行機械研磨，減少局部電荷堆積。 

使用**離子拋光（Ion Milling）去除絕緣表層，提高導電性。 

4. 數據處理（后期補償）

圖像后處理：軟件補償亮度、對比度，減少充電偽影。 

多幀平均（Frame Integration）：提高信噪比，減少充電帶來的條紋。

以上就是澤攸科技小編分享的如何處理樣品以避免在掃描電鏡下發生充電偽影的介紹。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢