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在掃描電鏡（SEM）中使用自動對焦系統可以顯著提高圖像質量和獲取效率。以下是實現自動對焦的步驟和建議：

1. 選擇合適的自動對焦系統

檢查顯微鏡配置：確認你的掃描電鏡配備了自動對焦功能。許多現代SEM配備了內置的自動對焦系統。

2. 設置初始參數

調節基本成像參數：在啟動自動對焦之前，設置適當的加速電壓、束流和掃描速度，以確保系統在正確的工作條件下運行。

3. 啟動自動對焦

選擇自動對焦選項：在顯微鏡控制軟件中，找到并啟用“自動對焦”或“自動對焦系統”的選項。

選擇對焦模式：某些系統允許選擇對焦模式，如邊緣檢測或信號強度，根據樣品特性進行選擇。

4. 樣品準備

確保樣品的表面清潔：自動對焦系統通常依賴于表面的特征進行對焦，確保樣品表面光滑且無污物。

5. 調整對焦參數

設置對焦深度：根據樣品的厚度和形狀，調整對焦深度設置，以確保自動對焦系統能夠在適當的范圍內工作。

6. 開始掃描

執行掃描：啟動掃描過程。自動對焦系統將在掃描過程中實時監控圖像清晰度，并根據需要調整焦距。

7. 監控結果

觀察對焦效果：在成像過程中，注意觀察自動對焦的效果。如果發現對焦不準確，手動調整并重新啟用自動對焦。

8. 后處理

圖像校正：獲取圖像后，可以使用圖像處理軟件進行進一步處理，以提高清晰度和對比度。

9. 定期校準

定期維護和校準：確保自動對焦系統定期進行維護和校準，以保持其精度和性能。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中使用自動對焦系統。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢