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在掃描電子顯微鏡（SEM）中，像散是指由于電子束對焦不準確導致圖像模糊或失真。像散的調節是通過調整掃描電鏡的電子光學系統，使電子束聚焦更加準確，從而獲得清晰的圖像。以下是調整掃描電鏡像散的詳細步驟：

1. 確認像散現象

觀察圖像：在高倍率下觀察圖像，確認是否存在像散現象。像散通常表現為圖像的邊緣模糊或者圖像在不同方向上拉伸。

2. 粗略調節對焦

初步對焦：使用顯微鏡的聚焦旋鈕，將圖像初步對焦，使圖像盡可能清晰。對焦不正確會加劇像散現象。

中心區域：在圖像的中心區域進行對焦，因為邊緣區域可能會受到其他光學畸變的影響。

3. 開啟像散校正功能

打開像散校正：找到SEM控制軟件中的像散校正選項，通常標記為“Stigmator”或“Astigmatism Correction”。

選擇合適的模式：確保選擇正確的像散校正模式，一般有X方向和Y方向的校正。

4. 調整像散校正旋鈕

X方向調整：慢慢旋轉X方向的像散校正旋鈕，觀察圖像的變化。目標是消除圖像在X方向的模糊，使圖像在該方向上達到較高清晰度。

Y方向調整：同樣地，慢慢旋轉Y方向的像散校正旋鈕，觀察圖像的變化。目標是消除圖像在Y方向的模糊，使圖像在該方向上達到較高清晰度。

5. 精細調整對焦

再次對焦：在像散校正后，可能需要再次進行精細對焦。使用顯微鏡的聚焦旋鈕，使圖像在當前倍率下達到較高清晰度。

6. 重復調整

反復調整：有時候需要多次反復調整對焦和像散校正，以達到高的圖像質量。每次小幅調整旋鈕，觀察圖像變化，逐步優化。

7. 更高倍率檢查

提高倍率：將倍率提高到工作范圍的上限，檢查圖像是否仍然清晰。如果高倍率下圖像仍有像散，需要在高倍率下進一步調整像散校正和對焦。

8. 保存設置

保存參數：如果顯微鏡控制軟件允許，可以保存當前的像散校正和對焦參數，以便在下次使用相同設置時快速恢復。

9. 定期校準和維護

定期校準：像散校正可能需要定期進行，尤其是在更換樣品或改變顯微鏡設置后。

維護設備：定期維護和校準顯微鏡的電子光學系統，確保設備始終處于最佳工作狀態。

注意事項

樣品準備：確保樣品準備得當，樣品表面應清潔，因為表面不規則和污染物會影響像散校正效果。

操作環境：避免在存在電磁干擾或震動的環境中操作SEM，因為這些因素會影響像散校正和圖像質量。

通過以上步驟，可以有效地調整掃描電子顯微鏡的像散，獲得清晰、高質量的圖像。

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