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掃描電鏡（SEM）工作時(shí)鏡筒內(nèi)的真空度是確保電子束正常傳輸和樣品表面電子散射檢測(cè)的重要因素。通常，SEM的鏡筒內(nèi)需要維持高真空，以避免電子束與空氣分子碰撞，導(dǎo)致電子束散射和能量損失。

一般真空度要求

高真空SEM

在高真空SEM中，鏡筒內(nèi)的真空度通常在以下范圍：

10^-5 至 10^-7 托 (Torr)

這種高真空度可以減少電子束在空氣中的散射，從而提高圖像分辨率和信噪比。這種環(huán)境適用于大多數(shù)常見的SEM應(yīng)用，如材料科學(xué)、納米技術(shù)和生物樣品的高分辨率成像。

低真空SEM（環(huán)境掃描電鏡，ESEM）

低真空SEM或環(huán)境掃描電鏡（ESEM）允許在較低的真空度下操作，通常在以下范圍：

1 至 10^-3 托 (Torr)

低真空模式適用于非導(dǎo)電樣品和含水樣品的觀察，因?yàn)榭梢栽跇悠繁砻姹Ａ粢粚铀魵?，避免樣品表面電荷積累和損傷。ESEM可以在環(huán)境條件下觀察濕潤(rùn)、油脂和其他非導(dǎo)電樣品。

真空度的重要性

電子束的穩(wěn)定性：高真空度可以減少空氣分子對(duì)電子束的散射，確保電子束穩(wěn)定和集中，從而獲得高質(zhì)量的圖像。

樣品保護(hù)：高真空環(huán)境可以防止樣品表面被氧化或污染，尤其是對(duì)于敏感材料而言。

設(shè)備保護(hù)：維持高真空可以減少污染物在鏡筒內(nèi)的沉積，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命和性能穩(wěn)定性。

真空系統(tǒng)的組成

SEM的真空系統(tǒng)通常由以下部分組成：

粗抽泵：如旋片泵或干泵，用于初步抽空，使真空度達(dá)到10^-2 至 10^-3 托。

高真空泵：如渦輪分子泵、離子泵或擴(kuò)散泵，用于進(jìn)一步提高真空度，使其達(dá)到10^-5 托或更高。

真空計(jì)：監(jiān)測(cè)和顯示鏡筒內(nèi)的真空度，確保系統(tǒng)維持在合適的真空范圍。

維護(hù)真空系統(tǒng)

為了保持SEM的正常運(yùn)行和高質(zhì)量圖像，需定期維護(hù)真空系統(tǒng)：

檢查和更換泵油（對(duì)于旋片泵和擴(kuò)散泵）。

定期校準(zhǔn)和清潔真空計(jì)。

檢查和更換密封圈，確保系統(tǒng)的密封性。

定期檢漏，檢測(cè)和修復(fù)可能的泄漏點(diǎn)。

總結(jié)

在SEM操作中，鏡筒內(nèi)的真空度是確保電子束穩(wěn)定性和圖像質(zhì)量的關(guān)鍵因素。高真空度通常在10^-5 至 10^-7 托，而低真空或環(huán)境掃描電鏡則在1 至 10^-3 托。通過維護(hù)和管理真空系統(tǒng)，可以確保SEM的正常運(yùn)行和高質(zhì)量的成像結(jié)果。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡工作時(shí)鏡筒內(nèi)的一般真空度要求。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢