在掃描電子顯微鏡（SEM）中，調節焦距是獲取清晰圖像的關鍵步驟。焦距調節主要是通過控制工作距離（Working Distance, WD）和物鏡焦距（Objective Focus）來實現的。以下是詳細步驟：

1. 準備工作

固定樣品：確保樣品穩固地固定在樣品臺上，避免在成像過程中移動。

粗略調整高度：手動調節樣品臺高度，使樣品表面大致位于物鏡的工作距離范圍內。

2. 啟動SEM

啟動SEM：開啟SEM并等待其穩定。

選擇加速電壓：選擇適當的加速電壓（如5-20 kV），視樣品特性而定。

3. 初步成像

低倍率成像：選擇低倍率（如幾十到幾百倍），以便在較大視野范圍內觀察和定位樣品。

調節亮度和對比度：初步調整圖像的亮度和對比度，使得樣品的主要特征清晰可見。

4. 調節工作距離（WD）

觀察圖像清晰度：通過調節工作距離（樣品臺的高度），使得樣品表面逐漸變得清晰。

工作距離顯示：SEM軟件界面通常會顯示當前的工作距離（WD），根據需要調整。

5. 調節物鏡焦距（Focus）

精細調焦：使用SEM控制面板或軟件界面的“焦距”旋鈕，精細調整物鏡焦距。

觀察圖像細節，找到合適的焦點，使圖像更清晰。

自動調焦：一些現代SEM設備配備自動調焦功能，可自動調整到適合焦距。

6. 高倍率成像

逐步放大：在低倍率下調好焦距后，逐步增加倍率，每次放大倍率后再次調節焦距。

精細調焦：每次放大后，使用物鏡焦距控制進行精細調焦，確保圖像清晰。

7. 使用斜率優化器（Stigmator）

修正像差：在高倍率下，如果圖像出現像差（失真或模糊），使用SEM中的斜率優化器（Stigmator）進行校正。

調整Stigmator：通過調整X和Y方向的斜率優化器，使得圖像達到更好的清晰度。

8. 再次調整亮度和對比度

優化圖像質量：根據需要再次調整亮度和對比度，確保圖像細節和對比度更好。

9. 調整和保存圖像

微調焦距和工作距離：在獲得清晰圖像后，進行微調，確保圖像質量。

捕獲和保存圖像：使用SEM軟件捕獲并保存圖像。

小技巧

樣品高度調整：在樣品裝載時，盡量將樣品高度調整至工作距離的中間值，減少后續調節幅度。

避免樣品污染：樣品表面應盡量清潔，避免污染影響成像效果。

穩定性：確保樣品臺和環境穩定，避免振動和電磁干擾。

通過以上步驟，可以在SEM中準確調節焦距，獲得高質量的圖像。這些操作需要一定的經驗和熟練度，建議在操作前詳細閱讀設備的操作手冊，并在熟練掌握后進行高精度成像。

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