JS100A是卓聚科技自主開發(fā)的國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀。具有高精度、高分辨率，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS100A臺(tái)階儀采用金剛石探針，并提供多種可選的曲率半徑，探針施加的力通過(guò)程序控制。JS100A臺(tái)階儀提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像，可無(wú)畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。

JS100A臺(tái)階儀為多種不同表面提供結(jié)構(gòu)及表面解析，包括：薄膜厚度，溝槽深度等。

JS100A臺(tái)階儀應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、LED、光電子、生物醫(yī)學(xué)器件、MEMS、薄膜化學(xué)圖層、平板顯示、觸摸屏、材料學(xué)等。 

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