掃描電鏡（SEM）對焦是調整掃描電鏡系統以獲得清晰圖像的過程。通常，SEM系統具有自動對焦功能，但也可以手動對焦。以下是手動對焦的一般步驟：

選擇合適的工作距離：首先，選擇合適的工作距離，這取決于所觀察樣品的性質和表面特征。通常情況下，距離較近可以提供更高的放大倍數，但會降低深度焦點范圍。

調整工作距離：使用控制系統中的調焦手輪或按鈕，逐步調整工作距離，直到觀察到樣品表面的清晰圖像。在調焦過程中，圖像會逐漸變得清晰，一直調整直到高的清晰度。

調整焦平面：有時候，樣品的不同部分可能位于不同的焦平面上。如果需要觀察樣品的不同區域，可能需要微調焦平面，以確保整個樣品表面都處于清晰的焦點范圍內。

檢查調整：調焦完成后，建議檢查調整結果，確保圖像清晰且所有感興趣的特征都能清晰可見。可以通過改變工作距離和焦平面，進一步優化圖像質量。

值得注意的是，每次更換樣品或調整掃描電鏡參數時，都可能需要重新對焦。對于自動對焦功能，大多數SEM系統會根據樣品的特征自動進行對焦，但在某些情況下，手動對焦可能更合適或更準確。

在進行對焦時，需要注意避免使用過高的放大倍數或調焦過快，以免損壞樣品或SEM鏡頭。同時，根據樣品的特性和所需的分辨率，調整合適的對焦參數也是很重要的。

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