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掃描電鏡圖像中的三維效應是如何實現(xiàn)的

日期:2024-01-25

掃描電鏡(SEM)圖像中的三維效應是通過以下方式實現(xiàn)的:

電子束的掃描: SEM使用高能電子束掃描樣本表面。電子束以高速在樣本表面移動,與樣本發(fā)生相互作用。

電子的散射和吸收: 電子束與樣本中的原子相互作用,包括散射和吸收。這些相互作用導致了電子的不同透射和散射路徑。

探測器測量信號: SEM中配備了探測器,用于測量與樣本相互作用產(chǎn)生的信號,包括反射電子、二次電子和后散射電子。

拓撲結(jié)構(gòu)的影響: 樣本表面的拓撲結(jié)構(gòu),即表面的形狀和高度差異,會影響電子束的反射和散射。這導致在圖像中看到不同部分的明暗和陰影,呈現(xiàn)出表面的三維效應。

后散射電子貢獻: 特別是后散射電子是在電子束與原子相互作用后從樣本中散射出來的電子。這些電子提供了關于樣本深層結(jié)構(gòu)的信息,從而增強了圖像的三維感覺。

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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