如何校準和標定掃描電鏡的圖像尺寸和比例
日期：2023-10-24
要校準和標定掃描電鏡（SEM）的圖像尺寸和比例，您可以按照以下步驟進行：
準備標準樣品： 獲取一個已知尺寸的標準樣品。這個標準樣品通常包括周期性的結構，如柵格或線條，其尺寸已知。這將用于標定SEM圖像。
進行成像： 使用SEM對標準樣品進行成像。確保設置SEM以獲得清晰的圖像。拍攝多個圖像，以涵蓋不同的區(qū)域和角度。
測量SEM圖像中的特征： 在獲得SEM圖像后，使用SEM軟件或圖像處理工具來測量標準樣品中的特征的尺寸。通常，您需要測量多個特征以獲得更準確的結果。
計算尺寸和比例： 使用已知的標準樣品尺寸，將SEM圖像中的測量結果與實際尺寸進行比較。這將允許您計算出SEM圖像中的比例因子。
應用標定： 在SEM軟件中，輸入您計算出的比例因子。這將允許軟件將測量結果映射到實際尺寸。
檢驗標定結果： 對其他樣品或結構進行測量以驗證標定的準確性。如果測量結果與預期的實際尺寸相符，那么標定是準確的。
定期校準： 校準不是一次性的過程。SEM系統(tǒng)可能會受到變化，因此建議定期校準以確保圖像尺寸和比例的準確性。
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作者：澤攸科技