掃描電鏡中的電子探針和能量色散分析
日期：2023-09-19
掃描電鏡（SEM）中的電子探針和能量色散分析（EDS）是用于獲取材料樣品化學成分和表面拓撲信息的重要技術。以下是它們的工作原理和應用：
電子探針（Electron Probe）： 電子探針是掃描電鏡中的一種技術，通過聚焦電子束在樣品表面產生的相互作用來獲取有關樣品的信息。這些相互作用包括以下幾個方面：
二次電子發射（Secondary Electron Emission）： 當高能電子束擊中樣品表面時，會產生二次電子發射。這些二次電子可以用于生成高分辨率的表面拓撲圖像。
散射電子（Backscattered Electrons）： 部分電子束被樣品的原子核散射回來，形成散射電子圖像。散射電子圖像提供了樣品的組成信息，通常與樣品中的原子數量成正比。
X射線發射（X-ray Emission）： 電子束與樣品相互作用時，激發了內部原子的電子，導致它們跳躍到更高能級，然后回到基態時發射X射線。這些X射線具有特定的能量，可以用于識別樣品中的元素。
能量色散分析（EDS）： 能量色散分析是一種用于確定樣品化學成分的技術，它通常與掃描電鏡一起使用。它的工作原理如下：
X射線檢測： 當電子束與樣品相互作用并激發內部原子時，樣品會發射X射線。這些X射線具有不同的能量，與被激發的元素有關。
X射線能量分析： EDS系統使用能量分散儀來測量X射線的能量。不同元素的X射線具有不同的能量特征，因此可以根據X射線的能譜確定樣品中的元素。
定量分析： 通過比較測得的X射線能譜與已知元素的標準庫，可以定量分析樣品中的元素含量。這可以用來確定元素的百分比和相對濃度。
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作者：澤攸科技