掃描電鏡的探測器類型和性能有哪些？
日期：2023-07-07
掃描電子顯微鏡（SEM）使用不同類型的探測器來測量和探測樣品表面產生的信號。每種探測器具有不同的性能特點，適用于不同的應用和需求。以下是一些常見的SEM探測器類型和性能特點：
后向散射電子探測器（BSE）：
特點：測量和檢測從樣品表面散射的高能電子。BSE信號與樣品的原子序數有關，可提供對樣品組成和形貌的信息。
優點：較高的信號強度，對不導電樣品有較好的靈敏度，可提供高對比度的圖像。
限制：BSE信號與表面拓撲關系密切相關，可能受到拓撲效應的影響。
后向散射探測器（BSE2）：
特點：類似于BSE，但BSE2探測器使用多個探測器接收不同能量范圍的BSE信號，提供更豐富的信號信息。
優點：提供更廣泛的信號能量范圍，可用于增強對比度和分析樣品成分。
二次電子探測器（SE）：
特點：測量和檢測從樣品表面發射的次級電子。SE信號與樣品的表面拓撲和導電性有關，可提供表面形貌和細節信息。
優點：高分辨率的表面拓撲信息，對導電和非導電樣品均可使用。
限制：信號強度較低，不適用于化學成分分析。
透射電子探測器（STEM）：
特點：透射電子探測器用于透射電子顯微鏡（TEM），可測量和檢測從樣品透射的電子。STEM信號可提供樣品的原子尺度結構和成分信息。
優點：高分辨率的原子級成像和分析，能夠獲得元素的能量色散譜（EDS）。
以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的探測器類型和性能。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢
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作者：澤攸科技