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掃描電鏡的探針電流和探針尺寸有何關(guān)系?

日期:2023-07-04

掃描電鏡的探針電流和探針尺寸之間存在一定的關(guān)系。探針電流是指掃描電鏡中電子束在樣品表面單位面積上的電流密度,而探針尺寸則是電子束在樣品表面的實(shí)際大小。

一般來(lái)說(shuō),探針電流越大,意味著電子束中的電子數(shù)目越多,電流密度也就越高。探針電流的大小對(duì)圖像的亮度和對(duì)比度有一定的影響。較大的探針電流可以產(chǎn)生較強(qiáng)的信號(hào),可以增加圖像的亮度和對(duì)比度,使得細(xì)節(jié)更加清晰可見(jiàn)。然而,較大的探針電流也可能導(dǎo)致樣品表面的充電效應(yīng)、輻照損傷或退火效應(yīng)等不良影響,特別是對(duì)于敏感的樣品。

探針尺寸是指電子束在樣品表面的實(shí)際大小,通常用探針直徑或焦斑直徑來(lái)表示。探針尺寸對(duì)圖像的分辨率和細(xì)節(jié)可見(jiàn)性有影響。較小的探針尺寸可以提高掃描電鏡的分辨率,使得樣品表面的細(xì)節(jié)更加清晰可見(jiàn)。然而,較小的探針尺寸也意味著掃描電鏡需要更高的探針電流來(lái)獲得足夠的信號(hào)強(qiáng)度,從而可能增加樣品的損傷風(fēng)險(xiǎn)。

因此,在選擇探針電流和探針尺寸時(shí)需要權(quán)衡圖像的亮度、對(duì)比度、分辨率以及樣品的損傷風(fēng)險(xiǎn)等因素。不同的應(yīng)用和樣品可能需要不同的探針電流和探針尺寸,具體的選擇應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求和樣品特性進(jìn)行優(yōu)化。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技


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