臺(tái)式掃描電鏡中的電子束是通過(guò)以下步驟生成的：

電子槍?zhuān)号_(tái)式掃描電鏡中的電子束通常由一個(gè)電子槍產(chǎn)生。電子槍通常包括一個(gè)熱陰極和一個(gè)陽(yáng)極。熱陰極是一個(gè)由熱絲構(gòu)成的發(fā)射器，當(dāng)通過(guò)它通電時(shí)，熱絲會(huì)加熱并發(fā)射出電子。

電子發(fā)射：在電子槍中，熱陰極加熱后會(huì)釋放出自由電子，這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為電子發(fā)射。這些發(fā)射的電子被稱(chēng)為初級(jí)電子。

加速電場(chǎng)：初級(jí)電子從電子槍中發(fā)射出來(lái)后，進(jìn)入一個(gè)加速電場(chǎng)。加速電場(chǎng)通過(guò)一個(gè)高壓電源，在槍體和陽(yáng)極之間產(chǎn)生一個(gè)電場(chǎng)，使初級(jí)電子獲得較高的能量。

聚焦系統(tǒng)：在初級(jí)電子被加速后，它們進(jìn)入聚焦系統(tǒng)。聚焦系統(tǒng)包括一組電磁透鏡或電場(chǎng)透鏡，用于將初級(jí)電子束聚焦成一個(gè)尖銳的束流，并控制其直徑和形狀。

準(zhǔn)直系統(tǒng)：準(zhǔn)直系統(tǒng)用于使電子束保持平行和平面，并校正電子束的偏轉(zhuǎn)。

束流控制：束流控制系統(tǒng)用于調(diào)節(jié)電子束的亮度和電子流強(qiáng)度。它通常包括一個(gè)開(kāi)關(guān)和/或調(diào)節(jié)器，用于控制電子束的開(kāi)關(guān)、亮度和聚焦等參數(shù)。

通過(guò)以上步驟，臺(tái)式掃描電鏡中的電子束得以生成，并且經(jīng)過(guò)聚焦、準(zhǔn)直和束流控制等步驟的處理，使其具有足夠的能量和聚焦性能，用于樣品表面的掃描和成像。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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