掃描電鏡檢測器的工作原理可以根據不同類型的檢測器而有所不同。以下是幾種常見掃描電鏡檢測器的工作原理簡介：

二次電子檢測器：二次電子檢測器主要用于觀察樣品表面的形貌信息。當樣品被掃描電子束照射時，樣品表面的原子與電子發生相互作用，產生一部分能量較低的二次電子。二次電子檢測器通過將樣品表面的二次電子收集起來，放大和探測，生成顯微圖像。這種檢測器對于樣品表面的形貌特征比較敏感。

回散射電子檢測器：回散射電子檢測器用于分析樣品的成分和結構信息。當樣品被掃描電子束照射時，部分電子被樣品原子的核吸引，并發生回散射。回散射電子的能量和角度與樣品的成分和密度相關。回散射電子檢測器通過收集和探測回散射電子，并將其轉換為電信號，以獲得樣品的成分分布和結構信息。

X射線能譜儀（： X射線能譜儀用于分析樣品的化學成分。當樣品被掃描電子束照射時，樣品中的原子會被激發并發射出特定能量的X射線。EDS檢測器通過收集這些X射線，并將其能譜轉換為電信號進行分析。通過分析X射線的能量和強度，可以確定樣品中存在的元素種類和相對含量。

這些只是掃描電鏡檢測器中的幾個常見類型，實際上還有其他類型的檢測器，如探針顯微鏡（如原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡）的工作原理與上述有所不同。不同的檢測器通過收集、轉換和探測樣品表面產生的信號，將其轉化為可視化圖像、電信號或能譜信息，從而提供有關樣品表面形貌、成分、結構等方面的信息。

ZEM18臺式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡檢測器的工作原理。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢